三豐表面輪廓儀是利用光學顯微技術│╃╃·、白光干涉掃描技術│╃╃·、計算機軟體控制技術和PZT垂直掃描技術對工件進行非接觸測量│▩,還原出工件3D表面形貌宏微觀資訊│▩,並透過軟體提供的多種工具對錶面形貌進行各種功能引數資料處理│▩,實現對各種工件表面形貌的微奈米測量和分析的光學計量儀器↟☁▩。
今天咱們就來聊一聊三豐表面輪廓儀的操作方法☁☁│:
1│╃╃·、將樣品放置在載物臺鏡頭下方↟☁▩。檢查電機連線和環境噪聲│▩,確認儀器狀態│▩,
2│╃╃·、使用操縱桿調節Z軸│▩,找到樣品表面干涉條紋↟☁▩。微調XY軸│▩,找到待測區域│▩,並重新找到干涉條紋↟☁▩。
3│╃╃·、完成掃描設定和命名等操作↟☁▩。點選開始測量(進入3D檢視視窗旋轉調整觀察一會)│▩,進行校平↟☁▩。
4│╃╃·、進入資料處理介面│▩,點選“校平”圖示│▩,和平面樣品不同│▩,臺階樣品需手動選取基準區域│▩,選好基準區域後│▩,先“全部排除”再“包括”↟☁▩。
5│╃╃·、若樣品表面有好幾處區域均為平面且高度一致│▩,可多選擇幾個區域作為基準面進行校平↟☁▩。
6│╃╃·、臺階高度測量☁☁│:線臺階高度測量↟☁▩。
7│╃╃·、進入分析工具介面│▩,點選“臺階高度”圖示│▩,即可直接獲取自動檢測狀態下的面臺階高度相關資料↟☁▩。
8│╃╃·、在右側點選“手動檢測”│▩,根據需求選擇合適的形狀作為平面1和平面2的測量區域│▩,資料欄可直接讀取兩個區域的面臺階高度數值↟☁▩。
9│╃╃·、臺階高度測量☁☁│:線臺階高度測量↟☁▩。
10│╃╃·、進入資料處理介面│▩,點選“提取剖面”圖示│▩,使用合適方向的剖面線│▩,提取目標位置的剖面輪廓曲線↟☁▩。
11│╃╃·、進入分析工具介面│▩,點選“臺階高度”圖示│▩,由於所測為中間凹槽到兩側平面高度│▩,因此點選右側工具欄│▩,測量條對數選擇“2”│▩,將紅色基準線對放置到凹槽平面中間│▩,兩對測量線對分別放置在兩側平面│▩,即可在資料纜讀取臺階高度資料↟☁▩。